隨著AI芯片、5G芯片、汽車電子、物聯網等下游的興起,全球半導體行業重回景氣周期,中美貿易戰中興禁運事件也為我國半導體行業敲響警鐘,半導體自主可控不僅僅是口號,而是涉及到國家安全、國計民生的要務,半導體產業必將是集國家力量發展的百年大計。在目前半導體行業投資火熱的在競爭中,除了更新制程設備外,最重要的是保障廠區正常運作的廠務系統,這兩方面的支出占了。特別是國家和企業對安全生產及環保意識加強后之后,廠務工作更是倍顯其重要及殷切。
半導體廠的廠務工作為輔助支援性質,也是后勤配合與收尾(廢棄物)處理的工作;平時很難察覺其重要性,但狀況一出,嚴重時會導致影響產品品質,甚至停產的地步。所以,借此針對廠務工作的內容做一概略性的描述,說明其重要性并供作參考與了解。
1)一般氣體及特殊氣體的供應及監控。
2)超純水之供應。
3)中央化學品的供應。
4)潔凈室之溫度、濕度、正壓等維持。
5)廢水、廢氣處理系統。
6)電力,照明及冷卻水。
7)無塵室系統。
8)自控系統,監控、控制、分析各廠務系統。